本發明公開了一種的廢棄氮化硅回收提純的方法,得到的高純氮化硅可用于石英坩堝涂層、耐火材料等。本發明的具體內容為:以廢棄石英坩堝內表面的氮化硅涂層為氮化硅原料,含有少量的二氧化硅與單質硅及微量的金屬等雜質;氮化硅原料經球磨粉碎后,采用高梯度磁選去除金屬雜質,反浮選去除二氧化硅,高溫氮化單質硅成氮化硅,得到高純氮化硅。本發明的方法實現了廢棄石英坩堝內表面氮化硅涂層的高純回收利用,不僅節約了資源,還解決了固體廢棄物的污染問題。
聲明:
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