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硅片切削廢液的資源化處理方法

882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:30:57
本發明涉及一種硅片切削廢液的資源化處理方法,其步驟是:將硅片切削廢液經過降低粘度處理后,泵入一體式膜過濾裝置,廢液中的固體物質被截留并提濃,然后經過離心分級,重組分濃縮液經清洗、純化、干燥,獲得磨料級碳化硅顆粒,輕組分稀溶液經錯流式膜過濾濃縮得到提取高純硅的原料;膜過濾滲透液經納濾或加添加劑結合微濾或超濾除去金屬離子和色素等雜質,再脫水獲得可重復利用的切削液分散粘結劑,實現切削廢液中切削磨料、切削分散粘結劑和切削過程流入硅粉的全回收。該方法和現有工藝相比,具有工藝先進,流程短,操作簡單,能耗低和回收效率高等優點,并易于放大,適用于工業化處理晶片切削廢液。
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