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廢氣處理裝置和半導體加工設備

1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:30:57
本實用新型提供了一種廢氣處理裝置和半導體加工設備，一方面能夠利用電漿反應器將工業廢氣轉化為固體生成物，并進一步通過固體生成物收集器收集重量較大的固體生成物，另一方面還能夠通過增設的靜電除塵器來捕獲重量較輕且帶電的固體生成物，從而避免細小粉塵進入到殘氣排放器的排氣管道中，可以防止排放殘余氣體的排氣管道及其連接的真空抽氣泵堵塞，進而有效避免產品缺陷以及異常報廢的風險。
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