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硅片切割廢砂漿分離提純方法

1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:30:55
本發明公開了一種硅片切割廢砂漿分離提純方法,包括以下步驟:一、廢砂漿固液分離,獲得固體分離物和混合液一;二、PEG分離及回收:對混合液一依次進行三級過濾、樹脂處理和真空蒸餾后,獲得PEG成品;三、晶體硅粉分離及回收:對固體分離物進行多次沉降分選及固液分離后,再對所獲得固體過濾物進行酸洗、過濾、脫水及烘干處理,獲得晶體硅粉;四、SiC微粉分離及回收:經多次沉降分選及固液分離處理后的沉淀層依次進行堿洗、固液分離及水洗、酸洗和固液分離、水洗及干燥處理,獲得SiC微粉。本發明設計合理、方法步驟簡單、操作簡便、效率高且投入及運行成本低、易于規?；a,所分離提純的PEG、晶體硅粉和SiC微粉的品質優良。
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“硅片切割廢砂漿分離提純方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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