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用超濾和離子交換處理漿料銅廢水

1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:29:57
一種用于處理來自銅CMP工藝的廢物流的方法，所述廢物流包括溶解的銅和具有小于0.75μm的數加權平均尺寸的磨料顆粒，所述方法包括將廢物流引入到進料罐中；使所述廢物流從所述進料罐流入到超濾模塊中；使廢物流過濾穿過超濾模塊的膜以形成貧固體濾液；引導來自超濾模塊的貧固體濾液穿過離子交換單元以去除溶解的銅并產生經處理的水溶液，所述經處理的水溶液具有比廢物流的銅濃度低的銅濃度；反洗膜超濾模塊以從超濾模塊的膜上去除漿料固體；以及將去除的漿料固體與經處理的水溶液組合以形成具有適合于排放到環境中的銅濃度的組合的排放流。
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