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硅片切割廢砂漿的回收處理方法

789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:29:55
本發明涉及一種硅片切割廢砂漿的回收處理方法。包括如下步驟:①分離硅片切割廢砂漿中的固液成分;②進一步回收固體中殘留的切割液成分;③水流浮選分離硅粉、碳化硅;④回收硅粉;⑤回收碳化硅;⑥將回收的切割液進行粗濾、精濾、脫色、真空蒸餾脫水,添加相應量的組分進行二級過濾后。本發明回收產物種類多,包括碳化硅微粉、切割液、硅粉,回收率高,回收效益高,可節省砂漿成本至少40%;同時有效地解決了單一回收可能造成二次污染問題;回收處理后的碳化硅微粉重新恢復切割功能,變廢為寶,實現了真正意義上的資源再利用,可促進循環經濟的發展;本發明方法對接污水處理工藝后,將廢水處理后再利用,基本實現廢液的零排放,有利于環境保護。
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