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硅片切割方法及切割廢料回收方法

898   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:28:04
本發明涉及切割機械技術領域，尤其涉及一種硅片切割方法及切割廢料的回收。硅片切割方法，利用線切割設備的鋼絲在惰性氣體環境下對硅錠進行切割，切割成硅片。硅片切割廢料回收方法，采用上述硅片切割方法切割硅錠后，會產生廢料，廢料的回收包括如下步驟：1)采用固液分離的方式從廢料中分離出聚乙二醇和固體混合物。2)對固體混合物進行清洗。3)采用萃取分離的方式將固體混合物進行初步的分離，分離出硅和碳化硅。4)將分離出的硅進行浮選，浮選出硅和碳化硅。由于采用上述技術方案，本發明能對硅片切割后的廢料進行回收利用，降低了硅片切割的成本，并解決了切割廢料的污染，環保節能。
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