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提高工藝穩定性和水質的超純水的制備工藝

1097   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:45:23
本發明公開了一種提高工藝穩定性和水質的超純水的制備工藝，包括1級反滲透系統中電動比例閥和泵均由PLC系統控制；PLC系統監控UF超濾系統中超濾的出水SDI值和產水壓差，當SDI升高到一定值，進行反沖洗，當產水壓差達到一定值進行化學清洗；監控進入MB再生混床的原水的Ph值，調節進水Ph值；監控TOC的進出口電阻值，動態調節拋光樹脂罐體數量；監控系統的水溫溫差變化小于5℃；本發明提供的超純水工藝可以提高超純水系統的產水穩定性、減少工藝廢水的排放，提高系統的產水率，此外智能超純水工藝使超純水系統更加完善，滿足半導體行業對超純水系統更穩定，更可靠，水質更嚴苛的要求。
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“提高工藝穩定性和水質的超純水的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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