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半導體回收水的臭氧處理裝置及其方法

901   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:31:19
本發明涉及一種半導體回收水處理裝置,包括:回收水貯槽、臭氧發生裝置、還原劑貯槽、第一混合器和第二混合器。所述裝置可有效減低半導體回收水中的總有機碳濃度TOC,從而提高半導體廢水的回收率和降低成本。本發明還涉及一種降低半導體回收水中TOC的方法。
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