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金剛線切割晶體硅生產線及其用水系統

905   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:09:07
本發明涉及一種金剛線切割晶體硅生產線的用水方法，所述金剛線切割晶體硅生產線攜帶至少一臺線切機，所述線切機使用金剛石線鋸將硅棒切割為硅片，在金剛石線鋸切割過程中來自線切機儲水罐的循環水沖洗切割部件；沖洗切割部件后的廢水被收集，將廢水處理得到生產用水；所述生產用水經過調配得到循環水，循環水供給給線切機使用。本發明通過將金剛線切割晶體硅生產線產生的廢水，進行處理得到生產用水，補充純凈水，調配組成后作為循環水繼續進入金剛線切割晶體硅生產線用作冷卻水和/或沖洗水，一方面能夠大量節省用水和減少廢水排放，另一方面能夠降低用水量和排水量的峰值，降低設備的額定容量。 1
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