本發明涉及一種含砷石英管的資源化處理方法,其包括如下步驟:S1、強酸浸泡;S2、混酸清洗;S3、自來水沖洗;S4、廢水處理。本發明含砷石英管的資源化處理方法工藝成本低、過程容易控制、設備要求低、實用性強,適用于半導體行業砷化鎵生產過程產生的表面含砷石英管的處理,可實現含砷石英管的現場無害化處置和石英管、砷的資源化利用。
聲明:
“含砷石英管的資源化處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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