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集成電路行業含氟廢液資源化利用的方法

1086   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:44:48
本申請涉及工業廢水處理和資源回收利用技術領域，具體公開了一種集成電路行業含氟廢液資源化利用的方法，包括：測定含氟廢液中SiF62?、F?和SO42?的濃度；向含氟廢液中加入氫氧化鈉的水溶液進行一次中和反應，得一次處理廢液和氟硅酸鈉；向一次處理廢液中加入氫氧化鈉進行二次中和反應，得二次處理廢液和氟化鈉；二次處理廢液經過蒸發濃縮析出含有氟化鈉的沉淀物，得含有氟化鈉的沉淀物和三次處理廢液；向三次處理廢液中加入硝酸鈣，得固體廢料和四次處理廢液；四次處理廢液經過結晶得五次處理廢液和硝酸鈉。本申請將含氟廢液的有效成分轉化為可回收利用資源，解決含氟廢液對環境的污染問題，且處理成本低，資源化產品價值高。
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聲明：
“集成電路行業含氟廢液資源化利用的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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