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光罩清潔裝置

1043   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:37:40
本實用新型是光罩清潔裝置，涉及一種以擦拭方式來清潔光罩的裝置，特別是指一種可有效去除附著于光罩任一側凸緣及于凸緣側的外框側邊上微粒子與霧化污漬的光罩清潔裝置；此光罩清潔裝置至少包含光罩升降組、清洗夾頭組、水平位移組、清潔區及點膠機所組成，可達成有效且迅速地的去除光罩任一側上的凸緣及于凸緣側的外框側邊上附著的微粒及霧化污漬，并可節省人工及廢水處理成本及縮短光罩清洗時間，且進一步可確保光罩清洗后的潔凈度，以利于提升半導體制程良率。
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聲明：
“光罩清潔裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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