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硼摻雜單顆粒層納米金剛石薄膜及其制備方法

952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:37:37
本發明公開了一種硼摻雜單顆粒層納米金剛石薄膜的制備方法，包括以下步驟：(1)采用熱絲化學氣相沉積方法，在單晶硅襯底上制備厚度為300-600nm的單顆粒層納米金剛石薄膜；(2)采用離子注入方法，在步驟(1)中得到的單顆粒層納米金剛石薄膜中注入硼離子，得到硼離子注入的薄膜；(3)將步驟(2)中得到的硼離子注入的薄膜真空退火，即制得所述硼摻雜單顆粒層納米金剛石薄膜。本發明制備的硼摻雜單顆粒層納米金剛石薄膜，具有優異的電化學性能，特別具有較好的電化學催化性能，可用于有機廢水的電化學催化氧化處理中。
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“硼摻雜單顆粒層納米金剛石薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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