本發明是關于一種水中微粒的去除裝置及方法。該裝置包含:一快混槽、一慢混槽及一沉淀或薄膜槽;其特征在于:所述沉淀或薄膜槽中包含一沉淀區,用于使所述慢混槽出流水中的膠羽沉淀;及一薄膜過濾區,用以過濾經所述沉淀區沉淀后的水。所述沉淀區及薄膜過濾區是由隔板區隔且兩區域具有開口可相互連通,其中所述薄膜過濾區是設置于相對于沉淀或薄膜槽底一偏高處。本發明的處理裝置較佳是用于處理例如化學機械研磨(CMP)廢水或中、高濁度的原水。
聲明:
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