本發明公開了半導體研磨劃片廢水零排系統,包括管路系統,所述管路系統上按照液體流向依次設置有用于收集車間廢水的廢水收集池、對廢水起到沉淀及調節作用的緩沖池、對廢水起到沉淀及調節作用的緩沖水箱、對廢水起到過濾作用的氣浮裝置、對待處理廢水進行儲存的原水箱、對處理后廢水進行儲存的回用水池以及錐形清洗箱,經氣浮裝置處理后的廢水流入到原水箱內部,經處理后的廢水通過第二主流管流入到回用水池內,錐形清洗箱在水量不足時可通過回用水池進行抽取,實現廢水的零排放。
聲明:
“半導體研磨劃片廢水零排系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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