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半導體行業研磨和切割廢水回用裝置

821   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 01:34:56
本實用新型為一種半導體行業研磨和切割廢水回用裝置,其特征在于:包括研磨廢水回用裝置、切割廢水回用裝置;所述研磨廢水回用裝置包括依次連接的研磨廢水收集池、研磨廢水提升泵、第一袋式過濾器、第一濁度計、研磨廢水調節池、研磨廢水輸送泵、第一疊片式過濾器、第一壓力控制器、第一超濾裝置,所述研磨廢水流入研磨廢水收集池,所述第一超濾裝置連接回用水出水管路;所述切割廢水回用裝置包括依次連接的切割廢水收集池、切割廢水提升泵、第二袋式過濾器、第二濁度計、切割廢水調節池、切割廢水輸送泵、第二疊片式過濾器、第二壓力控制器、第二超濾裝置,所述切割廢水流入切割廢水收集池,所述第二超濾裝置連接回用水出水管路。
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