本實用新型公開了半導體行業切割廢水回用為超純水的處理系統,它包括彼此之間通過連接管路依次串聯相連的微孔過濾器、混凝沉降裝置、清水箱、超濾系統、紫外線消毒系統、一級反滲透系統、脫氣裝置、二級反滲透系統、中間水箱、連續電去離子系統和產水水箱,在紫外線消毒系統和一級反滲透系統之間的連接管路上通過加藥管線連接有加藥系統并裝有第一反滲透進水泵,中間水箱的進水口通過中間水管路與脫氣裝置的出水口相連。采用本系統可得到電阻高達18MOhm-cm以上的高品質純水。該套系統整體回收率高達75%,整體投資成本較低。
聲明:
“半導體行業切割廢水回用為超純水的處理系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)