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半導體行業研磨廢水回用為超純水的處理系統

990   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 01:28:17
本實用新型公開了半導體行業研磨廢水回用為超純水的處理系統,它包括彼此之間通過連接管路依次串聯相連的研磨廢水水箱、膜生物反應器、離子交換系統、清水箱、超濾系統、紫外線消毒系統、一級反滲透系統、脫氣裝置、二級反滲透系統、中間水箱、連續電去離子系統和產水箱,離子交換系統連接有再生系統,膜生物反應器的清水出水口通過出水管線與清水箱的進水口相連,二級反滲透系統的濃水出口通過第二濃水管路與超濾系統的進水口相連,中間水箱的進水口通過中間水管路與脫氣裝置的出水口相連。采用本系統可得到電阻高達18MOhm-cm以上的高品質純水。該套系統整體回收率高達75%,整體投資成本較低。
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