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過濾有機廢水的復合型微孔濾膜制備方法

780   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 01:12:04
一種過濾有機污染物廢水的復合型微孔濾膜制備方法，通過在多孔材料上沉積鉭膜、摻雜金剛石薄膜，制備出具有良好導電特性的BDD-Ta-Ti復合型微孔濾膜，步驟包括：1）襯底預處理；2）鉭膜濺射；3）摻雜金剛石薄膜制備：在沉積金剛石薄膜之前，先要對HFCVD設備的熱絲進行表面碳化，以防止在金剛石形核和生長過程中熱絲發生碳化反應爭搶大量的碳源影響金剛石形核和生長，然后利用HFCVD工藝在襯底上沉積一層金剛石薄膜。本發明的優點是：制備的薄膜質量優良，具有較強的抗污染能力，特別適用于石油工業、染料加工、機械制造等行業產生有機污染物廢水的過濾；該薄膜制備工藝條件簡單、容易操作、成本較低，易于推廣。
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