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反射延遲線型聲表面波濕度傳感器

1147   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:55:38
本實用新型公開了一種反射延遲線型聲表面波濕度傳感器，所述聲表面波濕度傳感器包括壓電基底(1)，壓電基底(1)上表面設置聲表面波叉指換能器(2)和聲表面波反射柵(4)，聲表面波反射柵(4)設置在聲表面波叉指換能器(2)的兩側，在聲表面波叉指換能器(2)和一側的聲表面波反射柵(4)之間設置鍍膜區(3)，鍍膜區(3)的表面涂覆敏感層(5)。本實用新型通過采用耐輻射性強的敏感層結構、鈮酸鋰壓電基底及鋁電極結構，確保了傳感器在輻射環境下的穩定性，相對濕度區間為10％?100％的條件下，可以達到5％的靈敏度，用于核電站反應堆冷卻系統管道泄露監測的可解決核冷卻管道泄露高濕度監控布線難、維護難的問題。
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