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半導體設備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷

1196   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:52:32
本實用新型公開了一種半導體設備的鋁制加熱器蓋板的陶瓷提升銷，包括：蓋板本體，所述蓋板本體的內部設有錐形結構的銷孔且蓋板本體的下部設有加熱器，所述銷孔延伸至加熱器內部且銷孔內部設有限位擋圈，所述銷孔內安裝有提升銷本體且提升銷本體由銷帽和銷桿組成，所述銷帽呈圓錐形結構設置且銷桿呈圓柱形結構設置。本實用新型中的提升銷本體采用陶瓷材料制成，且由銷桿和銷帽組成，銷帽呈錐形結構設置并與銷桿之間一體成型，錐形結構的銷帽能夠與銷孔之間貼合，從而減小了間隙，防止制造過程中有大量氣體從銷帽跟加熱器蓋板間隙流入帶走一些熱量，預防銷帽處溫度較低，鉭酸鋰晶圓提升銷點位置厚度低的問題。
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