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彈性波裝置、高頻前端電路以及通信裝置

1056   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 00:34:23
本實用新型提供一種能夠在改善頻率溫度特性的同時抑制頻率的偏差的彈性波裝置、使用了該彈性波裝置的高頻前端電路以及通信裝置。彈性波裝置(1)具備:壓電基板(2),具有相互對置的第一主面(2a)、第二主面(2b);IDT電極(3),設置在壓電基板(2)的第一主面(2a)上,具有以Mo為主成分的第一電極層;以及電介質膜(4),設置在壓電基板(2)上,覆蓋IDT電極(3)。壓電基板(2)由鈮酸鋰構成,電介質膜(4)由氧化硅構成。彈性波裝置(1)利用了在壓電基板(2)中傳播的瑞利波。IDT電極(3)的占空比為0.55以上且0.75以下。
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