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用于第二或第三行過渡金屬薄膜的沉積的固有地選擇性前驅體

1109   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:08:21
描述了用于沉積第二或第三行過渡金屬（例如，鎢或釕）薄膜的固有地選擇性前驅體。在示例中，用于第二或第三行過渡金屬絡合物形成的配體構架包括鋰絡合物。
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