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基于LBO晶體的266nm全固態紫外激光器

1214   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 00:04:01
一種基于LBO晶體的266nm全固態紫外激光器,包括用于對激光晶體的泵浦光源、光學耦合系統、1064nm諧振腔和腔外進行倍頻、和頻光路。1064nm諧振腔包括反射鏡、分束鏡、平凹鏡、激光晶體、聲光調制器和OC反射透鏡;腔外倍頻、和頻光路包括第一LBO晶體,第二LBO晶體、第三LBO晶體、第一聚焦透鏡,第二聚焦透鏡、第三聚焦透鏡和布魯斯特角等腰棱鏡。本發明的三硼酸鋰266nm固體激光器通過諧振腔內生成1064nm基頻光;利用LBO晶體進行腔外倍頻以及和頻,再利用色散原理分離和頻產生的532nm、355nm和266nm激光,并輸出266nm激光,光學模式和光斑質量較好。
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