一種在設備中制造電化學元件的方法,此方法可包含:提供電化學元件基板;在此基板之上沉積元件層;原位施加電磁輻射至元件層以實現元件層的表面重構、再結晶及致密化中的一或更多者;重復此沉積及此施加直至達成所需元件層厚度為止。此外,施加可在沉積期間進行。一種薄膜電池可包含:基板;集電器,在此基板上;陰極層,在此集電器上;電解質層,在此陰極層上;及鋰陽極層,在此電解質層上;其中LLZO電解質層具有結晶相,沒有歸因于LLZO電解質層中的裂縫的短路,且在電解質層與陰極層之間的介面處無高電阻夾層。
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“激光處理與電化學元件層沉積的整合” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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