本發明公開了一種模塊化設計的自供紫外光源的綠色節能拋光頭裝置,包括自供紫外光源模塊、裝卡模塊和晶圓保持模塊,其中自供紫外光源模塊包括光源電路、中間圓盤、防護罩、環形石英玻璃板、密封蓋和O型密封墊圈,該模塊中的光源電路包括環形電路板、鋰電池組和紅外遙控開關;裝卡模塊包括上圓盤、裝卡圓柱和彈簧鋼片;晶圓保持模塊包括底圓盤和保持環。本發明采用模塊化的設計,方便了單個模塊互換以及模塊間裝配;本發明將紫外光源裝置與拋光頭裝置高度集成,提高了紫外光能利用率并節約了大量紫外光能;本發明中的機械結構采用鋁合金,減少了拋光頭裝置質量,降低了電機損耗。本發明的高集成和輕質量特性有效實現了綠色節能。
聲明:
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