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基于光刻和化學機械拋光的薄膜微光學結構的制備方法

677   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:00:40
一種基于光刻和化學機械拋光的薄膜微光學結構的制備方法，包括在薄膜表面鍍金屬層、光刻選擇性去除金屬膜、化學機械拋光以及化學腐蝕等步驟。本發明方法制備的片上微光學器件具有極高的表面光潔度，極低的光學損耗。該方法適用于各種片上薄膜(包含但不限于鈮酸鋰單晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金剛石薄膜等)上制備高品質的微光學結構(包含但不限于微盤腔、微環腔、光波導及其耦合器件)。
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