本實用新型公開了一種射頻電源自動阻抗匹配裝置,包括電源底板、連接塊、后置板、金屬板和蜂鳴器,電源底板的頂端與連接塊的底端固定連接,電源底板的頂端固定連接有后置板,連接塊和后置板的頂端固定連接有金屬板,金屬板的頂端中部固定連接有吸熱板,金屬板的頂端固定連接有支撐架,支撐架的一側固定連接有導熱管,導熱管的內部設置有液體水銀,導熱管的內壁滑動連接有滑動板,滑動板的頂端固定連接有鋰電池,通過導熱管、蜂鳴器、鋰電池、滑動板、金屬板、吸熱板、電極片和水銀的配合,可以對電源和匹配管的溫度進行監控并且當到達預設值后隨之會發出報警,給工作人員提示,起到監控電源溫度的效果,給工作人員帶來方便。
聲明:
“射頻電源自動阻抗匹配裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)