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MEMS振動能量收集與存儲的單片集成裝置及其制備方法

1127   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:38:49
本發明公開了一種MEMS振動能量收集與存儲的單片集成裝置及其制備方法。本發明采用堆疊的方式實現能量收集器件與鋰離子電池的單片集成，結構簡單緊湊，利于實現傳感器節點的微型化、集成化并提高能源利用效率。此外，本發明中基于MEMS懸臂梁結構的堆疊方式，既實現了能量收集器件對振動能量的有效收集，還有助于釋放和減小鋰離子電池充放電時產生的應力，不但提高了器件的集成度還增強了器件可靠性。
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聲明：
“MEMS振動能量收集與存儲的單片集成裝置及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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加工技術
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