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蝕刻劑溶液及其使用方法

726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:22:36
蝕刻組合物和使用所述蝕刻組合物的方法，所述蝕刻組合物包含氫氧化鉀；一種或多于一種選自TEAH、TMAF和NH4OH的額外的堿性化合物；和水；或蝕刻組合物包含一種或多于一種選自氫氧化鉀、氫氧化銫、氫氧化鈉、氫氧化銣或氫氧化鋰的無機堿性的堿性氫氧化物；任選的一種或多于一種額外的堿性化合物；水；和任選的一種或多種腐蝕抑制劑；其中所述組合物相對于襯底上存在的二氧化硅優先蝕刻所述襯底上存在的硅。
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