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基于聲表面波的柔性微米線電極的制造裝置

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:21:21
本實用新型公開了一種基于聲表面波的柔性微米線電極的制造裝置。鈮酸鋰晶片上制造一對叉指電極，無蓋的PDMS腔體覆蓋在鈮酸鋰晶片的正中央，兩個叉指電極分別位于PDMS腔體的兩側并呈對稱分布，PDMS腔體內充滿由光敏材料和納米銀線組成的液態預聚物，UV固化燈置于鈮酸鋰晶片下方；啟動信號發生器，壓電晶片受到高頻交變電場的作用而激發聲表面波，通過調節信號發生器的輸出頻率使PDMS腔體覆蓋區域形成穩定的駐波場；納米銀線線性排布，待排布穩定后，采用UV固化燈對PDMS腔體進行照射，使液態預聚物固化成型。本實用新型能實現快速制造柔性的微米線電極，具有操作簡便、可控性強和生產效率高等特點。
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“基于聲表面波的柔性微米線電極的制造裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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