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顯示裝置的制造方法和顯示裝置

981   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 23:14:35
一種生產率優越、且可防止對有機層損壞、形成上部電極而長期可靠性優越的顯示裝置的制造方法。該方法是在基板2上把下部電極4、含發光層有機層5以及上部電極6依次層疊,從上部電極側6提取發射光的上面發光型的顯示裝置1的制造方法,在基板2上形成下部電極4,在下部電極4上形成含發光層的有機層5后,通過濺射法以7nm~21nm的膜厚在有機層5上形成含有鋰的上部電極6作為陰極。上部電極6的鋰重量組成比是0.1%~1.9%。通過濺射法形成上部電極6是以50nm/min以下的成膜速度進行。
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