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亞微米光子晶體位相陣列光分束器的制作方法

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:14:02
本發明公開了屬于新型電子器件及光信息技術領域的一種亞微米光子晶體位相陣列光分束器的制作方法。該方法為：1）求解二維六角光子晶體位相陣列結構的菲涅耳衍射方程，確定最佳設計參數；2）設計二維亞微米周期結構的六角光子晶體微結構陣列掩膜板，在鈮酸鋰晶體上刻蝕出微結構陣列極化反轉電極；3）對鈮酸鋰晶體進行電場極化，制備出亞微米結構的六角陣列分布的晶體；4）洗去鈮酸鋰晶體±z面上的鋁電極，在±z面磁控濺射氧化銦錫薄膜平板電極，將鈮酸鋰晶體±z面與直流電源正負極相接，調節電壓的大小來實現位相陣列光分束效應。本發明設計的光分束器具有分束均勻性好、光斑點陣數多、衍射效率高等優點，能夠實現信息的并行傳輸與處理。
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“亞微米光子晶體位相陣列光分束器的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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