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光子芯片及其制備方法

718   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:11:37
一種光子芯片及其制備方法，芯片包括鈮酸鋰薄膜調制器陣列(1)、第一光耦合陣列(2)和二氧化硅波導波分復用器(3)，其中：鈮酸鋰薄膜調制器陣列(1)由一個及以上的鈮酸鋰薄膜調制器組成，用于對光信號進行調制；第一光耦合陣列(2)由一個及以上的第一光耦合結構組成，第一光耦合結構的一端連接至對應的鈮酸鋰薄膜調制器，并且其另一端連接至二氧化硅波導波分復用器(3)，以將調制后的光信號傳輸至二氧化硅波導波分復用器(3)；二氧化硅波導波分復用器(3)用于對調制后的光信號進行波分復用。實現了片上鈮酸鋰薄膜調制器與片上波分復用結構的單芯片集成，并提高了器件集成度。
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