本發明公開了一種新型推挽式高效寬帶聲光調制器及其制備方法,所述聲光調制器包括基片以及設置在基片上的鈮酸鋰?硫系玻璃異質層和鈮酸鋰薄膜上的叉指換能器;鈮酸鋰?硫系玻璃異質層包括鈮酸鋰薄膜以及鈮酸鋰薄膜上異質集成的硫系光波導;鈮酸鋰薄膜上設置的叉指換能器包括若干個叉指電極,叉指換能器采用聚焦型叉指換能器或長度不等的雙電極叉指換能器。本發明使用聚焦型叉指換能器激發匯聚型聲表面波,充分利用聲波能量,提高光波導折射率的改變量;或使用長度不等的雙電極叉指換能器,有效消除電極反射問題,提高微波工作帶寬;上述聲光調制器具有調制效率高、制作容易、帶寬大、速度高、易實現片上大規模集成的特點。
聲明:
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