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相位調制器及諧振腔異質集成芯片

787   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:05:36
本發明公開了一種相位調制器及諧振腔異質集成芯片。在鈮酸鋰薄膜基片上設置氮化硅調制諧振模塊；氮化硅調制諧振模塊包括鈮酸鋰波導相位調制單元、層間耦合單元和氮化硅諧振單元；鈮酸鋰波導相位調制單元的輸入端接收激光器輸出的光，鈮酸鋰波導相位調制單元對輸入的光進行調制得到調制光；層間耦合單元實現調制光從鈮酸鋰波導相位調制單元向氮化硅諧振單元進行過渡；調制光經層間耦合單元耦合至氮化硅諧振單元；氮化硅諧振單元對耦合后的光進行諧振，然后由氮化硅諧振單元的輸出端將諧振后的光輸出至探測器。采用本發明的芯片，將鈮酸鋰相位調制器與諧振腔集成在一個芯片上，能夠減小體積、降低功耗和成本，提高諧振式集成光學陀螺系統的穩定性。
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“相位調制器及諧振腔異質集成芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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