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大尺寸非極性面GAN自支撐襯底制備方法

817   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:05:34
大尺寸非極性面GAN自支撐襯底制備方法,在HVPE生長系統中將鋁酸鋰襯底放入反應器中后,先生長緩沖層。溫度為500-800℃,然后升溫至生長溫度開始生長GAN,生長溫度1000-1100℃。生長至合適的厚度后,停止生長;冷卻后獲得完整的自支撐GAN襯底,鋁酸鋰襯底自動分離。本發明利用了鋁酸鋰襯底和GAN之間的小的晶格失配來獲得低位錯密度的非極性面GAN薄膜;本發明方案充分利用兩者之間大的熱失配來使得二者相分離,無需按照一定降溫速率降溫,并且晶體質量明顯改善,而且成品率高,采用本發明方案利于規模生產。
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