本發明公開了一種非線性晶體三硼酸鋰晶體表面高激光損傷閾值增透膜的制備方法。針對LBO晶體各向異性強及增透膜的損傷機理,該方法的步驟包括LBO晶體表面采用IAD工藝鍍SiO2膜、在LBO晶體表面IAD工藝鍍制的薄膜上采用溶膠?凝膠法進行鍍膜。由本發明制備的LBO增透膜光學特性優異、損傷閾值高、環境穩定性好,可以與現有的基板加工、清洗及薄膜制備工藝兼容。具有工藝重復性好、可控性強、易于推廣等優點,在未來的高功率激光薄膜領域具有廣泛應用前景。
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