本發明公開了一種在鈮酸鋰波導結構中高效產生二次諧波的結構及制備方法。選取x?cut的薄膜鈮酸鋰基底,通過調整波導寬度與高度,使特定的兩個模式有效折射率相等,實現模式相位匹配。然后在制備過程中,對波導結構的非線性分布進行人為調控,使特定區域的非線性與之前相反。在相干倍頻過程的非衰減區,二次諧波的理論轉換效率由有效非線性磁化率和模式重疊因子決定。本發明提出的波導結構使用了鈮酸鋰的最大非線性磁化率d33=27pm/V,并且擁有0.8019的大模式重疊因子,其二次諧波理論歸一化轉換效率高達10872%W?1cm?2。
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