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大尺寸超薄鈮酸鋰晶片的切片方法

789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:37:35
本發明公開了一種大尺寸超薄鈮酸鋰晶片的切片方法，包括：采用硝酸和氫氟酸的混合溶液對鈮酸鋰晶棒進行化學腐蝕；對腐蝕后的晶棒進行粘棒作業，并在晶棒頭尾粘上樹脂片，在晶棒正上端及兩側粘上樹脂條；將粘好后的晶棒切割成晶片，所采用的切削液為環烷油，石蠟油，聚乙二醇單油酸酯，膨潤土，磺酸鋇鹽按一定質量分數組成的混合溶液；將晶片進行脫膠處理；將脫膠后的晶片進行化學腐蝕，最終可以得到一種大尺寸超薄鈮酸鋰晶片，表面平坦度高，晶向偏差小，線痕深度小，加工碎片率低。
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“大尺寸超薄鈮酸鋰晶片的切片方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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