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用于制造含鋰薄膜層狀結構的氣相沉積方法

822   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:36:25
一種用于制備多層薄膜結構的氣相沉積方法包括：提供準備用于第一層的化合物和準備用于第二層的化合物的每個組分元素的蒸氣源，其中該蒸氣源包括至少鋰源、氧源、一種或多種玻璃形成元素的一個或多個源，及一種或多種過渡金屬的一個或多個源；將基材加熱至第一溫度；向已加熱的基材上共沉積來自至少鋰、氧和該一種或多種過渡金屬的蒸氣源的組分元素，其中該組分元素在該基材上反應，以形成晶態含鋰過渡金屬氧化物化合物的層；將該基材加熱至在距該第一溫度在大致170℃或更小的溫度范圍內的第二溫度；以及向已加熱的基材上共沉積來自至少鋰、氧和該一種或多種玻璃形成元素的蒸氣源的組分元素，其中該組分元素在該基材上反應，以形成非晶態含鋰氧化物或氧氮化物化合物的層。
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