公開了一種制造平面鋰靶材組件的設備,包括:真空室;與真空室相連的抽真空裝置和可選的破真空裝置;用于支撐初始靶材組件的支撐件和用于向初始靶材組件施壓的施壓件,其中所述支撐件和所述施壓件以可移除的方式置于所述真空室中;加熱裝置,用于加熱被所述支撐件支撐的初始靶材組件。本實用新型的技術方案解決了平面鋰靶材生產中靶材質量不佳的問題,所制造的靶材組件具有高抗拉強度,還可以解決金屬鋰柔軟和黏性所導致的生產問題,使靶材組件的生產簡潔易行,且基本無原材料浪費。
聲明:
“制造平面鋰靶材組件的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)