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在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導的方法

1124   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:21:59
本發明提供一種在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導的方法，制作Y傳脊型光波導的方法包括：在鈮酸鋰單晶薄膜+Z面的波導區形成掩膜；輕質子交換，非波導區在+Z面實現質子交換，波導區在非波導區與波導區的邊界處實現X面質子交換；其中，質子源為苯甲酸和苯甲酸鋰的混合物，苯甲酸鋰的質量比為2％。本發明提出一種在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導的方法，其主要在X切方向采用2％緩沖質子交換，可在Z切鈮酸鋰薄膜上制備出側壁(X面)和表面(Z面)均很光滑、損耗低的Y傳脊型光波導。
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“在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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加工技術
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