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有透明導電鎳酸鋰底電極的外延鈮酸鍶鋇薄膜及制備方法

1137   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:17:10
本發明公開了一種具有透明導電鎳酸鋰底電極的外延鈮酸鍶鋇薄膜及制備方法。在MGO基板一面外延沉積LNO鎳酸鋰透明導電層LNO薄膜,再在LNO薄膜上外延制備SBN薄膜。其制備步驟如下:首先以碳酸鋰,氧化鎳,氧化鈮,碳酸鍶,碳酸鋇為原料,用固相燒結法分別制備鎳酸鋰靶材和鈮酸鍶鋇靶材;其次將(001)MGO基板清洗后放入反應室,反應室抽真空,并加熱基板,以氧氣為保護氣體,引入反應室中,脈沖激光濺射靶材,在基板上先后外延沉積鎳酸鋰導電電極和鈮酸鍶鋇薄膜。本發明制備方法簡單,制得的鈮酸鍶鋇薄膜為(001)方向外延生長,薄膜外延性好,質量高,電光系數大(R33可達180～230PM/V),具有良好的應用前景。
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