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鈮酸鋰高頻微型電光調制器芯片結構

920   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:12:27
本實用新型公開了鈮酸鋰高頻微型電光調制器芯片結構，所述調制器芯片結構包括：共面行波電極、二氧化硅緩沖層、光波導層和鈮酸鋰晶體層；其中，所訴光波導層制備于所述鈮酸鋰晶體層上，所述共面行波電極位于所述鈮酸鋰晶體層的上表面，所述二氧化硅緩沖層位于所述鈮酸鋰晶體層的下表面；所述共面行波電極包括中心電極和兩偏電極，所述中心電極位于所述兩偏電極的中間位置。本實用新型的有益效果是，通過在波導底層加入二氧化硅絕緣層，可以減小微波損耗，提高電場作用效率，實現較低的半波電壓，或減小器件的尺寸；利用薄膜化芯片，減小或去除行波電極與鈮酸鋰晶片之間二氧化硅緩沖層，可有效提高電光轉換效率。
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“鈮酸鋰高頻微型電光調制器芯片結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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