本發明公開了一種基于低折射率高介電常數的薄膜鈮酸鋰電光調制器,屬于光通信器件技術領域。器件從下往上依次包括:襯底層、埋氧層、器件層、波導包覆層,所述器件層依次包括鈮酸鋰光波導、包層介質、電極組,所述包層介質的介電常數高于波導包覆層的介電常數,且所述包層介質的折射率低于鈮酸鋰光波導的折射率。本發明的調制器,通過在鈮酸鋰器件層和包覆層之間引入包層介質,因其具有較高的射頻介電常數,且在通訊波段具有很高的光學透明度,使得在不引入額外光學損耗的前提下,增加了鈮酸鋰波導中的射頻信號的電場分壓,從而提高了電光調制效率。同時具有損耗低、結構緊湊等優點。
聲明:
“基于低折射率高介電常數的薄膜鈮酸鋰電光調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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