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鈮酸鋰調制器及其制造方法

853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:03:50
一種鈮酸鋰調制器及其制造方法,其包括:選擇具有合適的晶體切向和電場利用方向的鈮酸鋰晶體制備的襯底;在鈮酸鋰晶體上制作出的光波導;制作在鈮酸鋰晶體上的與光波導匹配的調制電極,包括中心信號電極和與地連接的地電極,其中調制電極的各電極與光波導之間組成推挽結構,且調制電極的拐彎部分為錐形過渡和彎曲過渡;制作在調制電極的輸入端和輸出端的微帶匹配電路;在調制電極與光波導之間設置的緩沖層結構。本發明由于巧妙地設計調制電極與光波導以及兩者之間的匹配結構,從而可以提供一種調制速率高、插入損耗低、消光比高、半波電壓低、電反射小的高可靠性的鈮酸鋰調制器及其制造方法。
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