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二氧化硅波導與鈮酸鋰薄膜垂直耦合的諧振式集成光學陀螺

964   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:03:49
本發明公開了一種二氧化硅波導與鈮酸鋰薄膜垂直耦合的諧振式集成光學陀螺，包括：基底晶片、下包層、二氧化硅波導環圈、二氧化硅直波導、上包層、鈮酸鋰薄膜、電光移頻器光學波導、電光移頻器金屬電極、鈮酸鋰直條光學波導，可將鈮酸鋰薄膜光學波導中經過電光移頻的光波沿垂直方向耦合導入二氧化硅波導環圈中進行角速度測量，將二氧化硅波導環圈低傳輸損耗、低彎曲損耗的特點與鈮酸鋰晶體的電光移頻功能相結合，既克服了基于二氧化硅波導的集成光學陀螺難以制作集成光學移頻器的難題，也解決了基于鈮酸鋰波導的集成光學陀螺中波導環圈彎曲損耗過大、環圈半徑過大的問題，提升了諧振式集成光學陀螺的集成度和實用化價值，適于實現批量生產。
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“二氧化硅波導與鈮酸鋰薄膜垂直耦合的諧振式集成光學陀螺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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