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用陣列電極進行光束偏轉的鈮酸鋰波導及制作方法

1075   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:00:28
本發明涉及電光調制器件的技術領域，公開了一種用陣列電極進行光束偏轉的鈮酸鋰波導，由上而下依次為陣列電極、緩沖層、單晶鈮酸鋰薄膜、絕緣層、金屬電極和襯底，所述陣列電極由形狀為平行四邊形的微結構電極單元組成，所述單晶鈮酸鋰薄膜中間包裹有條狀的質子交換鈮酸鋰波導，設置在緩沖層下方并正對陣列電極。本發明制造工藝簡單，且損耗低、穩定性強，兼顧器件的高速調制特性和電光效應引起折射率變化的有效性，能夠通過電光效應達到光模式偏轉和光模場調控目的。
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